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[技术文章] 真空镀膜装备检漏系统的设计与分析
璃改性工艺用真空镀膜主要指一类需要在高真空状态下进行的玻璃镀膜。真空镀膜设备是镀膜玻璃生产线中关键设备，镀膜段高本底真空和腔体的低漏率是生产优质镀膜玻璃的前提和保证。因此，所加工的真空镀膜腔体不仅要求快速地抽空，而且要求漏率＜1×10-7m发布时间：2019-08-26 点击次数：353
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