A530 描述

A530 移动式氦质谱检漏仪(Helium Mass Spectrometer Leak Detector)，是一款大抽速（前级泵抽速30 m³/h），低维护、高灵敏度、操作便捷的干泵检漏仪。A530 氦质谱检漏仪轻松检漏，使您放心得到快速准确可靠的测试结果。产品广泛应用于科研院所、航空航天、半导体、半导体气柜，光伏等行业。

功能特点

大抽速前级泵，工作效率高

支持正压检漏，负压检漏

优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应

自动跟踪本底功能，提供快速可靠的测量结果

高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦

机器卓越的性能支持7*24 小时长时间在线测试

双铱丝离子源，系统设计有效的防大气冲击功能

配有检漏口精细过滤器，过滤细微杂质，确保机器不受杂质影响和损伤

支持氮气破空，不受环境氦气干扰，快速降低本底有可便捷更换过滤器

技术参数

最小可检漏率（负压模式）            5×10-13Pa•m3/s 

最小可检漏率（正压模式）            5×10-9Pa•m3/s

检漏口压强           粗检        1500Pa

                  中检        200Pa

                  精检        40Pa

响应时间                       ＜0.5s

启动时间                       ≤2min

前级油泵抽速                     30m3/h（8.3L/s)  

外形尺寸（W×D×H）                780×420×1100

重量                          110Kg

常见泄漏率

检漏方法示意图