氦质谱检漏仪

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氦质谱背压检漏方法研究

氦质谱背压检漏方法研究

       阐述了氦质谱背压检漏的特点及目前存在的问题, 在此基础上提出了改进建议。深入探讨了预充氦背压法测得的测量漏率与等效标准漏率的关系, 指出预充氦背压法可用于检测压氦背压法检测不到的小漏孔, 给出了等效标准漏率对测量漏率具有的双值均在分子流范围时的鉴别方法。

　　D. A. Howl 和C. A.Mann[1965 年在Vacuum 杂志上发表背压检漏技术 一文, 采用压氦( by bombing) 处理后用氦质谱检漏仪检漏的技术解决了密闭器件分子流漏孔检测的基本理论问题。在此基础上, 美国试验与材料学会标准ASTM E 493 及我国航天行业标准QJ 3212 又增加了预充氦( by prefilling )处理法, 并统称为氦质谱仪背压检漏方法( Test Methods for Leaks Using the Mass Spectrometer Leak Detector in the Inside

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