高频火花检漏仪的主结构就是一个小功率、高频、高压的塔式线圈。通电后在其次级线圈的尖端会形成高频高压电脉冲，在大气中会不断引发随机、短促的脉冲放电，释放出尖细、曲折的电火花。利用这种高频电火花可以在玻璃真空系统或器件中寻找细微漏洞，也可以用于橡塑陶瓷管道等非导电体的真空系统检漏。如果要检测金属真空系统或容器时，需利用安置在金属系统上的玻璃规管或盲管进行检漏。

      高频火花检漏仪结构简单，体积小、重量轻，携带与使用都很方便，可用压力范围103～10-1Pa，可检最小漏率为10-3～10-4Pa·m3/s。按其产生高频、高压脉冲方式的不同，可分为电容电感串联谐振式与振动子式。前者火花束强、振荡稳定，但体积大笨重；后者体积小、方便，但振荡不够稳定。

实际使用中，高频火花检漏仪的检漏方式有两种：火花法和放电法。

      火花法适用于玻璃真空系统或器件的检漏。使用时用放电尖端搜寻漏孔，如无漏孔火花束在玻璃表面不规则跳跃，并向四周发散。如有漏孔，因空气进入真空系统，放电尖端移至漏孔处时，气流会被电离，导电率上升高于玻璃，分散的火花束就会集中成为细长明亮的火花束，尾端指向漏孔。

      放电法适用于玻璃真空系统，也适用于金属系统（借助玻璃规管或盲管）。它利用的是低真空中气体放电颜色的不同来进行检漏。当真空检漏仪器的尖端火花打在几千至1Pa的真空系统的玻璃壁上，会使系统内气体产生辉光放电，不同的气体会呈现不同颜色。但是系统处于正常大气压或者10-2Pa以下时，呈现的则为无色。

各种气体在高频火花检漏仪放电法中的辉光颜色