大型工业容器在一般工业上的应用相当广泛，这类容器在生产时需要对其密封性能进行检测，如果泄漏严重，通常会对附属设备、工艺条件产生不良影响。

当容器的体积比较大，且需要进行真空检漏时，就需要使用氦质谱检漏仪搭配辅抽泵组一起来完成容器的内腔体泄漏检测。具体实施过程是将辅抽泵组与被检的容器连接后，通过泵组将腔体内部抽到一定的真空度，然后开启检漏仪，通过对容器表面可疑泄漏处（通常是焊缝、法兰连接等）喷吹氦气，观察检漏仪的读数，来寻找泄漏点。

下图为安徽歌博科技有限公司为客户提供氦质谱检漏仪来检测工业大腔体容器的气密性，主要应用了负压喷氦的检漏方法。

客户现场的大腔体容器容积为2 m³，漏率要求为6.9*10^-10Pa.m³/s。因为工件漏率要求很高，所以要求工件内部要抽得足够干净，所以我们建议客户配置分子泵组作为辅抽泵，同时配置真空计检测腔体真空度。氦质谱检漏仪连接在分子泵的排气口和机械泵的进气口之间。泵组与容器上焊接的KF40法兰直接相连，先开机械泵对容器腔体抽真空，当真空度达到10Pa时开启分子泵。经过大约一个半小时的抽空，容器腔体内真空度达到了0.5Pa，此时打开检漏仪检漏口的真空挡板阀，测得系统本底值为5.0*10^-10Pa.m³/s，即可以进行喷氦检漏。我们由近及远，由上到下，在法兰连接及焊缝处等可疑漏点喷吹少量氦气，观察检漏仪的读数是否上升，来查找漏点并进行封堵。待查完漏点后，再用薄膜将容器整体包裹住，向薄膜内充一定浓度的氦气，可通过氦气浓度仪来判断充入氦气的浓度。观察检漏仪稳定后的读数，即可判断工件整体漏率是否合格。