真空蒸发镀膜机氦质谱检漏

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真空蒸发镀膜机检漏（真空镀膜机检漏）

真空蒸发镀膜机一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜，需要在较高真空度下进行的镀膜。

真空系统的真空度达不到，（气密性不好）或者达到真空度速度慢，都有可能是由于存在漏点所致，真空系统需要检漏（气密性检测）。真空镀膜机检漏采用负压法检漏，检漏仪通过检漏口接入真空系统，在可能泄漏地方喷氦检漏。歌博科技氦质谱检漏仪，有操作简单, 高灵敏超稳定的特点, 方便查出漏点。

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