特气管道检漏，高纯气体管道检漏

  FAB厂的厂务特种气体管路，主要是通各种特种气体,特种气体可能存在窒息性、腐蚀性、毒性、易燃易爆性等危险，其危害性被不同国家区域和不同的工业组织进行了详细的危险等级分类。对于一个大规模量产的电子工厂，其使用和存储的电子气体数量之多可以毫不夸张地被视为拥有“大规模杀伤性”武器库。任何设计上、施工中、日常运行里存在的安全隐患都会对工厂、人员和环境带来巨大的灾难。

 因此管路的检漏工作特别重要。歌博科技的氦质谱检漏仪充分参与到南京台积电，长江存储，合肥长鑫等众多重点项目建设，为厂务安全保驾护航。

一、测试前准备

1. 系统成功的的通过了保压检漏。

2. 确认系统的所有部件都能承受得住真空状态而不损坏。

3. 先对测漏仪本身阀组及连接管路进行漏率检测。

4. 氦质谱检漏仪与系统管路接通前，要将被测系统内的气体释放掉。

5. 缓缓打开测漏仪入口处的阀门，将测漏仪与管路系统隔离阀之间的管路抽真空，直至测漏仪显示的背景漏率低于 1× 10-9 mbar.l/s。

6. 对连接管路上所有的焊道及机械连接处进行氦气喷吹。

二、测试方法

1. 确认系统中所有的阀门和调压阀都是全开的。

2. 确认系统中的压力为0，如果系统中还有正压，要先将系统中的气体放掉。 

3. 缓缓打开检漏仪入口处的阀门，开始将系统抽成真空状态。遵照检漏仪的操作说明操作，直至达到可以检测的状态。

4. 记录下检漏仪的背景氦漏率，该背景氦漏率低于1 ×10-9 mbar.l/s以后，才可以进行喷吹工作。

5. 从最靠近检漏仪的焊道或连接处开始检测，将氦气用喷枪喷吹到焊道或连接处，使得氦气会停留在焊道或连接处一段时间，确认没有泄漏后，进行下一个焊道或连接处的检测，直到最后一个焊道或连接处。

6. 如果发现检漏仪的指示值有上升的现象，待到检漏仪读值恢复正常后，重新检测该焊道或连接处以确认其是否真的有漏，如果确认不是该焊道或连接处有漏，要依次检测该焊道或连接处之前的焊道或连接处，直到找到漏点为止。

7. 直至所有的接点都被检测到，检测合格的接点要贴合格标志。所有的接点都喷吹过氦气后，继续观察检漏仪的读值10分钟左右，确认读值没有异常后才可以将系统与仪器之间分离开。

8. 如果每个接点的氦气漏率都低于1× 10-9 mbar.l/s，说明该系统的漏率是符合要求的。测试人员可以将检测结果记录在检测报告里了。

9. 将检漏仪与系统分开。